国家知识产权局信息显示,光微半导体(吉林)有限公司申请一项名为“一种晶圆电镀装置”的专利,公开号CN122687323A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆电镀装置,涉及电镀技术领域,包括:电镀槽,其内部填充有电镀液,用于提供电镀反应环境;夹持组件,设置于所述电镀槽内,用于对晶圆本体进行夹持,并能够带动晶圆本体在电镀槽内进行升降;旋转升降机构。该种晶圆电镀装置,本发明通过联动搅匀组件与旋转升降机构、夹持组件构成的机械联动结构,实现阳极片与晶圆本体同步平稳入液,避免入液速度差、抖动造成的镀层缺陷;作业过程中,联动搅匀组件随阳极片同步搅动电镀槽内部电镀液,快速排走晶圆本体表面气泡、消除电镀死角,提升镀层厚度均匀性;夹持组件配套自动化夹持结构,简化晶圆本体上下料工序,有效提升晶圆电镀加工良率与生产效率。
天眼查资料显示,光微半导体(吉林)有限公司,成立于2022年,位于长春市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,光微半导体(吉林)有限公司财产线索方面有商标信息4条,专利信息17条。
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来源:市场资讯