晶合集成获得发明专利授权:“监控波像差的方法”
创始人
2024-09-02 19:01:21
0

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“监控波像差的方法”,专利申请号为CN202410806461.1,授权日为2024年8月30日。

专利摘要:本发明提供了一种监控波像差的方法,通过收集测试掩膜对应的曝光后的CD值及CD偏差来获得波像差补偿值,并将获得的波像差补偿值反馈给成像系统进行修正,而采用的测试掩膜包括多个掩膜图形,每个掩膜图形包括多个掩膜子图形,每个掩膜子图形包括多个横向图形和多个纵向图形,多个横向图形和多个纵向图形均呈环状阵列分布。由于每个掩膜子图形中的多个横向图形和多个纵向图形均呈环状阵列分布,因此本发明能从多个角度监控波像差差异,并反馈给成像系统进行修正,可以获得理想的波前成像。

今年以来晶合集成新获得专利授权216个,较去年同期增加了64.89%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由智能算法生成,不构成投资建议。

相关内容

热门资讯

原创 苹... 有不少朋友疑惑苹果iPhone 16 Pro和16 Pro Max有什么区别?该选择哪一款更好?各自...
第五轮学科评估对比:西安交大突... 在之前的文章中,我们已经提及西安交通大学第五轮学科评估的表现可圈可点,新晋的3个A+学科:机械工程、...
2025年值得入手的2款智能手... 在科技飞速发展的今天,智能手表已成为我们生活中不可或缺的伙伴。无论是健康监测、信息提醒,还是时尚搭配...
原创 2... 从去年华为用上了麒麟芯片开始,华为的市场份额就蹭蹭的往上涨,当时抢购的人特别多,一时间还买不到现货,...
2024年OPPO手机全攻略:... 手机已不仅仅是通讯工具,它更是我们记录生活、享受娱乐、提升工作效率的重要伙伴。随着科技的飞速发展,O...
vivo手机5g开关在哪里打开 vivo手机5G开关的打开方式可能因手机型号、系统版本及运营商网络支持情况的不同而有所差异。但总体来...
steam官网无法访问?这个办... 对于广大游戏爱好者而言,Steam平台无疑是获取最新游戏资讯、购买游戏、与全球玩家互动的重要阵地。然...
2024信号“最可靠”的四款手... 大家好!今天我要和大家聊聊2024年信号“最可靠”的四款手机,它们分别是华为Pura 70 Pro+...
虚拟资料变现还值得做吗?闲鱼卖... 大家好,今天给大家带来的是咸鱼虚拟资料类项目分享,这个项目其实出来很久了,有些人觉得虚拟资料没水准,...
解决FaceTime无法使用的... FaceTime是苹果公司推出的一款视频通话应用,广泛应用于iPhone、iPad和Mac等设备上。...