聚时科技取得一种交接装置专利,提高待测件的放置精度
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2024-12-20 20:41:09
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金融界2024年12月20日消息,国家知识产权局信息显示,聚时科技(上海)有限公司取得一项名为“一种交接装置”的专利,授权公告号 CN 222168362 U,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本实用新型实施例提供了一种交接装置,涉及晶圆承载设备领域。交接装置包括转台交接机构及定位机构。交接转台机构具有安装待测件的承载台,定位机构位于承载台的一侧,当待测件安装于承载台的过程中,定位机构能够移动至预设位置且与待测件的一侧抵接。当机械手夹持待测件并安装于承载台的过程中,定位机构能够移动至预设位置,在定位机构的定位基准下,机械手能够精确的将待测件安装在承载台上,保证了机械手将待测件准确的放置在承载台的预定位置,从而提高待测件的放置精度。

来源:金融界

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