深圳市矩阵多元科技取得加工平台等相关专利，实现基板的温度控制
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2024-12-24 04:22:50
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金融界2024年12月23日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市矩阵多元科技有限公司取得一项名为“加工平台、加工设备及芯片制备系统”的专利，授权公告号 CN 222182420 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种加工平台、加工设备及芯片制备系统。加工平台包括主体和第一支撑部，第一支撑部连接于主体在第一方向上的一侧，第一支撑部位于主体的外边沿，第一支撑部用于支撑基板，第一支撑部和主体之间限定出流通空间。主体设置有过气孔，过气孔用于通入冷却气体，过气孔沿第一方向延伸，过气孔连通流通空间。对基板进行溅射沉积时，第一支撑部支撑于基板的边沿，在提供结构支撑的基础上，预留中部的流通空间，冷却气体从过气孔进入流通空间后与基板接触，实现基板的温度控制，确保溅射沉积的效果。
来源：金融界
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