江丰电子获得实用新型专利授权：“一种靶材”
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2024-12-24 14:41:54
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示江丰电子（300666）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种靶材”，专利申请号为CN202323383709.8，授权日为2024年12月24日。
专利摘要：本实用新型属于物理气相沉积技术领域，公开了一种靶材，包括第一台阶和第二台阶，第一台阶和第二台阶一体成型，在第一台阶和第二台阶设有相连的花纹组，花纹组包括第一花纹和第二花纹，第一花纹设于第一台阶的侧面，第二花纹设于第二台阶的表面，第一花纹与第二花纹相互连接，第一花纹由多个凸出部连接形成，凸出部具有尖角，第二花纹与第一花纹结构相同。本实用新型的靶材，能够提升靶材边缘处反溅射物质的积累数量，延后反溅射物质的脱落，保证半导体镀膜质量的同时，还能够提高靶材的使用率，减少靶材的浪费。
今年以来江丰电子新获得专利授权76个，较去年同期减少了36.13%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.02亿元，同比增30.77%。
数据来源：天眼查APP
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