海目星获得实用新型专利授权：“硅片输送系统以及硅片加工设备”
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2024-09-17 17:40:38
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示海目星（688559）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“硅片输送系统以及硅片加工设备”，专利申请号为CN202323190309.5，授权日为2024年9月17日。

专利摘要：本实用新型公开了一种硅片输送系统以及硅片加工设备，硅片输送系统，包括：转台装置，用于将硅片从进料位依次转动搬运至第一加工位、第二加工位和出料位；第一探针装置，包括受控能够上下移动的第一探针模组，第一探针模组位于第一加工位的上方，第一探针模组用于与位于第一加工位的硅片的第一加工区域相对、以避开位于第一加工位的硅片的第二加工区域；第二探针装置，包括受控能够上下移动的第二探针模组，第二探针模组位于第二加工位的上方，第二探针模组用于与位于第二加工位的硅片的第二加工区域相对、以避开位于第二加工位的硅片的第一加工区域。

今年以来海目星新获得专利授权270个，较去年同期增加了39.18%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.49亿元，同比增3.61%。

数据来源：天眼查APP

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