新蚀刻工艺:等离子体助力3D NAND闪存效率倍增!
创始人
2025-02-05 15:20:38
0

在科技领域的最新进展中,3D NAND闪存技术因其存储单元堆叠的独特设计而备受瞩目,这一设计策略不仅显著提升了存储密度与容量,还有效降低了生产成本。近日,一项创新蚀刻工艺的问世,为3D NAND闪存技术的进一步突破带来了希望。

这项新工艺由Lam Research、科罗拉多大学博尔德分校以及美国能源部普林斯顿等离子体物理实验室(PPPL)的科学家们联手打造。他们巧妙地利用了氟化氢等离子体,实现了硅材料垂直通道蚀刻效率的大幅提升,仅需短短一分钟,便能完成640纳米的蚀刻深度。

该工艺的核心在于氧化硅和氮化硅交替层的精细处理。科学家们首先在这些交替层上刻制微小孔洞,随后将分层材料暴露于等离子体形式的化学物质中。在等离子体的作用下,其原子与分层材料中的原子发生相互作用,从而精确蚀刻出所需的孔洞通道。这一创新方法不仅提高了蚀刻速度,还确保了蚀刻精度的显著提升。

研究团队还发现,通过结合三氟化磷等特定化学材料,可以进一步优化蚀刻工艺。这些化学材料的加入,使得蚀刻过程更加高效、稳定。同时,针对蚀刻过程中可能产生的副产品影响蚀刻效率的问题,科学家们也找到了简单的解决方案——加入水。水能够在低温下促使盐分解,从而有效加速蚀刻过程,提高整体效率。

这项创新蚀刻工艺的问世,无疑为3D NAND闪存技术的发展注入了新的活力。它不仅有望推动存储密度的进一步提升,降低生产成本,还可能为其他领域的微纳加工技术提供有益的借鉴和启示。随着技术的不断成熟和应用领域的不断拓展,我们有理由相信,这一创新工艺将在未来发挥更加重要的作用。

相关内容

热门资讯

原创 苹... 有不少朋友疑惑苹果iPhone 16 Pro和16 Pro Max有什么区别?该选择哪一款更好?各自...
第五轮学科评估对比:西安交大突... 在之前的文章中,我们已经提及西安交通大学第五轮学科评估的表现可圈可点,新晋的3个A+学科:机械工程、...
2024年OPPO手机全攻略:... 手机已不仅仅是通讯工具,它更是我们记录生活、享受娱乐、提升工作效率的重要伙伴。随着科技的飞速发展,O...
原创 2... 从去年华为用上了麒麟芯片开始,华为的市场份额就蹭蹭的往上涨,当时抢购的人特别多,一时间还买不到现货,...
vivo钱包遭用户投诉贷款利率... 文:WEMONEY研究室 随着移动互联网时代到来,智能手机已经成为了生活的必需品。目前,很多手机如...
2025年值得入手的2款智能手... 在科技飞速发展的今天,智能手表已成为我们生活中不可或缺的伙伴。无论是健康监测、信息提醒,还是时尚搭配...
虚拟资料变现还值得做吗?闲鱼卖... 大家好,今天给大家带来的是咸鱼虚拟资料类项目分享,这个项目其实出来很久了,有些人觉得虚拟资料没水准,...
解决FaceTime无法使用的... FaceTime是苹果公司推出的一款视频通话应用,广泛应用于iPhone、iPad和Mac等设备上。...
steam官网无法访问?这个办... 对于广大游戏爱好者而言,Steam平台无疑是获取最新游戏资讯、购买游戏、与全球玩家互动的重要阵地。然...
gta5加载慢怎么办 gta5... 许多玩家在GTA5游戏过程中都会遇到加载速度慢的问题,那么gta5加载慢怎么办?今天加游加速器就来告...