苏州尊恒取得晶圆清洁甩干机专利，提高了清洗效率_科技动态

苏州尊恒取得晶圆清洁甩干机专利，提高了清洗效率

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2025-02-18 16:41:49

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金融界2025年2月18日消息，国家知识产权局信息显示，苏州尊恒半导体科技有限公司取得一项名为“晶圆清洁甩干机”的专利，授权公告号CN 222483330 U，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本实用新型涉及晶圆加工设备领域，尤其是晶圆清洁甩干机。该清洁甩干机包括清洗槽、护罩、护罩开关机构、晶圆支撑定位座、晶圆旋转机构、喷水机构、喷气机构，所述清洗槽上方设有用于封闭清洗槽的护罩，护罩安装在护罩开关机构上，清洗槽内转动连接有晶圆支撑定位座，晶圆支撑定位座与晶圆旋转机构相连，清洗槽内安装有喷水机构和喷气机构。本实用新型通过晶圆支撑定位座将晶圆定位在清洗位置，通过晶圆旋转机构来驱使晶圆旋转，通过喷水机构来往清洗槽内喷水，通过喷气机构来冲刷晶圆表面。本申请简化了结构，节约了成本，提高了清洗效率。

天眼查资料显示，苏州尊恒半导体科技有限公司，成立于2019年，位于苏州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币，实缴资本700万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州尊恒半导体科技有限公司参与招投标项目9次，知识产权方面有商标信息7条，专利信息59条，此外企业还拥有行政许可7个。

来源：金融界

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