上海光通信取得一种半导体设备专利,改善气体管线连接密封性
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2025-02-25 16:01:08
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金融界2025年2月24日消息,国家知识产权局信息显示,上海光通信有限公司取得一项名为“一种半导体设备”的专利,授权公告号CN 222514887 U,申请日期为2024年5月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种半导体设备,包括:两个反应腔室与两个气体管线装置,两个反应腔室通过两个气体管线装置连通;气体管线装置包括固定板和至少一个管道主体,固定板设置在反应腔室外侧,固定板上设置有至少一个贯穿固定板的安装孔,管道主体一端与固定板第一侧的安装孔连接,管道主体另一端与反应腔室连通;两个气体管线装置的固定板第二侧的安装孔相对设置;至少一个气体管线装置的固定板上还设置有至少一个水平调整装置,用于调整固定板的水平位置使两个固定板第二侧的安装孔相互对准。本实用新型中通过水平调整装置调整两个气体管线装置水平对接,从而改善气体管线连接的密封性,避免由于泄露而导致的反应腔室被污染的问题,提高了产品良率。

天眼查资料显示,上海光通信有限公司,成立于1988年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币,实缴资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海光通信有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目49次,知识产权方面有商标信息12条,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可170个。

来源:金融界

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