京仪装备获得发明专利授权:“传送机械手”
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2025-07-05 16:01:27
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示京仪装备(688652)新获得一项发明专利授权,专利名为“传送机械手”,专利申请号为CN202011029712.8,授权日为2025年7月4日。

专利摘要:本发明涉及半导体加工技术领域,提供一种传送机械手,包括:基体、电源和静电发生装置,基体包括用于支撑晶圆的支撑部,所述支撑部上设置有预设路径;电源包括正极端和负极端;静电发生装置连接于电源,静电发生装置包括正电荷端头和电子端头,正电荷端头和电子端头均设于支撑部;所述正电荷端头与所述电子端头在同一所述预设路径上交替设置。本发明提出的传送机械手,利用库仑力对晶圆进行吸附,可实现多种规格的晶圆的传送,正电荷端头与电子端头沿同一预设路径交替设置,使得电场均匀分布,有助于晶圆均匀受力,保证晶圆稳定传送,还有助于减小对晶圆的损伤。

今年以来京仪装备新获得专利授权25个,较去年同期减少了16.67%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了9414.94万元,同比增53.06%。

通过天眼查大数据分析,北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目86次;财产线索方面有商标信息50条,专利信息470条,著作权信息54条;此外企业还拥有行政许可13个。

数据来源:天眼查APP

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