中微公司获得发明专利授权:“下电极组件及等离子体处理设备”
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2025-07-09 06:41:45
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“下电极组件及等离子体处理设备”,专利申请号为CN202411660380.1,授权日为2025年7月8日。

专利摘要:本发明提供一种下电极组件及等离子体处理设备。所述下电极组件用于等离子体工艺处理,包括:静电吸盘,其上表面用于承载基片;位于静电吸盘中的第一电极,其与一脉冲式直流偏压源电连接;位于静电吸盘中的第二电极,其通过一隔离电路与一直流电压源电连接,所述第二电极位于所述第一电极的上方;所述隔离电路包含一二极管,所述二极管的负极与所述直流电压源的负极电连接、正极与所述第二电极电连接。本发明通过消除脉冲式直流偏压源对箝位电压的影响,解决在工艺过程中基片箝位电压的失稳问题。

今年以来中微公司新获得专利授权84个,较去年同期减少了1.18%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了14.18亿元,同比增73.59%。

通过天眼查大数据分析,中微半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了28家企业,参与招投标项目66次;财产线索方面有商标信息98条,专利信息1505条,著作权信息13条;此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源:天眼查APP

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