近日，山东力冠于正式发布其12英寸PVT电阻设备及8英寸多坩埚设备，为8-12英寸SiC晶圆的规模化、稳定化、低成本制备树立了新的行业标杆。

山东力冠发布的12英寸PVT电阻设备及8英寸多坩埚设备，是碳化硅晶圆制备的核心工艺设备，可以决定了碳化硅晶锭的生长效率、质量和成本，与碳化硅产业的发展密切相关。

据了解，12英寸PVT电阻炉单炉次生长效率提升达40%，且集成先进多温区精准控制技术，可有效确保晶格质量与厚度一致性，能满足严苛的量产质量要求。

8英寸多坩埚设备采用3-5个坩埚同步生长，单次产出能力成倍提升，可大幅摊薄晶锭的制造成本。同时，其创新的硬件架构与智能控制软件融合，可实现高精度温度与真空压力动态调控，独家多坩埚协同温场技术还解决了传统超大尺寸设备热场分布不均的问题。

公开资料显示，山东力冠成立2013年，是国内半导体装备制造行业的头部企业。其产品涵盖第一代至第四代半导体材料工艺装备，包括PVT单晶生长设备、HVPE设备、SiC籽晶粘接设备等。产品广泛应用于集成电路、5G芯片、光通信等战略新兴领域，已进入比亚迪半导体等头部企业产线，还出口至中国台湾、俄罗斯、韩国、新加坡等国家和地区。

（文/集邦化合物半导体整理）

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