金融界2025年7月30日消息，国家知识产权局信息显示，东方日升新能源股份有限公司取得一项名为“一种干法蚀刻装置”的专利，授权公告号CN223167441U，申请日期为2024年08月。

专利摘要显示，本实用新型属于太阳能电池技术领域，具体为一种干法蚀刻装置，包括反应腔室；反应腔室内设有硅片输送辊道；反应腔室上位于硅片输送辊道的上方设有蚀刻气体进口，位于硅片输送辊道的下方设有排气口；反应腔室内设有至少一个第一加热器，第一加热器将反应腔室内的温度加热到反应温度；反应腔室通过排气口与废气处理室连通。当片片进入反应腔室内且温度达到反应温度后，与自蚀刻气体进入进入的蚀刻气体反应，反应完成后的气体自排气口排出至废气处理室室，该装置可应用于Topcon技术的镀镀去除或Poly Finger技术的背面减薄，且整个去镀镀过程或Poly Finger背面薄过程采用干法技术，方式简单，蚀刻快，降低运行成本。

天眼查资料显示，东方日升新能源股份有限公司，成立于2002年，位于宁波市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114001.3863万人民币。通过天眼查大数据分析，东方日升新能源股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目985次，财产线索方面有商标信息102条，专利信息362条，此外企业还拥有行政许可36个。

来源：金融界