8月27日，南乐县先进制造业开发区内，盈芯（南乐）半导体材料有限公司（以下简称“盈芯材料”）的生产车间内，高精度设备阵列正有序运转——纯度在99.99%以上的高纯度甲烷经专用管道输入，历经沉积结晶工序后，一颗颗高品质大单晶金刚石顺利产出。

作为“工业牙齿”，金刚石是石墨的同素异形体，也是钻石原身，而河南更是全球金刚石产业的核心腹地。据盈芯材料相关负责人介绍，以往行业多采用高温高压物理工艺，通过石墨结构转化制备人造金刚石。如今，盈芯材料依托成熟MPCVD技术平台，走出了一条差异化技术路径——以高纯度甲烷为碳源，通过等离子技术剥离碳原子并沉积至晶种，最终转化为金刚石。相较于传统工艺，该技术优势显著。纯度更高：有效规避氮气、氧气等气体引入的晶格缺陷，提升结晶质量；效率更快：加速沉积过程，使金刚石生长速率提高20%——30%；尺寸更大：量产场景下单颗金刚石可达40克拉，同时实现5英寸（125mm）、6英寸（150mm）大面积多晶金刚石稳定生长，厚度达400微米。

更关键的是，该企业已攻克两大核心技术难关：一是实现不同热导率2英寸金刚石热沉片稳定批量化生长；二是解决650微米高厚度金刚石生长后脱硅“零翘曲”难题，为高端应用奠定了工艺基础。

人造金刚石具有高硬度、高热传导率、高化学稳定性等优异性能，在光学、声学、热学、力学、电学等领域应用潜力巨大。盈芯材料的技术突破，正是精准对接我国高端制造的“刚需”：其CVD金刚石材料可直接满足第三代半导体（GaN、SiC）功率器件、高端激光巴条、微波射频模块等对“大面积、均质高效散热”的迫切需求，为晶圆级金刚石散热方案铺平道路，助力相关器件功率密度与可靠性显著提升。

从产业布局来看，盈芯材料定位“全球高端金刚石功能材料研发与制造基地”，并构建“设备制造—半导体材料—金刚石高端应用”全产业链，业务辐射半导体材料、量子技术、国防军工等国家战略领域，填补了国内高端金刚石功能材料规模化生产的部分空白。

目前，盈芯材料相关项目进展顺利，一期1号车间已正式点火投产，其余车间外部高低压配电设施全部完工，为后续产能释放做好了准备；915Hz72Kw大功率MPCVD设备将于9月底陆续进场，经调试后拟于10月中旬投产。该设备投产后，将成为国内首次应用于金刚石批量生产的大功率设备，推动生产效率与产品品质进一步提升。

据了解，盈芯材料相关项目全部建成达产后，将实现年产240万克拉大单晶金刚石、3.5万片热沉及光学窗口产品的产能规模，预计实现年产值31亿元、税收1.6亿元，并带动1200余人实现就业，不仅为濮阳先进制造业发展注入强劲动力，也为我国高端金刚石材料国产化替代提供坚实支撑。记者 张迪

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