晶盛机电等“晶圆清洗机”专利获授权
创始人
2025-09-14 00:05:45
0次

天眼查APP显示，近日，杭州中为光电技术有限公司,浙江求是半导体设备有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司申请的“晶圆清洗机”专利获授权。摘要显示，本申请提供了一种晶圆清洗机，属于晶圆清洗技术领域，解决了现有技术晶圆损伤率与清洁度难以兼优的问题。本申请的晶圆清洗机包括上料组件、超声清洗组件、QDR清洗组件、送料组件以及晶圆刷洗组件，晶圆刷洗组件包括辊刷机构和旋转机构，辊刷机构包括第一辊刷和第二辊刷，第一辊刷与送料面共同向上延伸组成一承载区，承载区用于承载晶圆，第二辊刷设置于承载区上方，第二辊刷与第一辊刷共同转动清洗晶圆，旋转机构包括轮体和第一驱动机构，轮体具有靠近承载区活动的自由度以共同夹持晶圆，第一驱动机构作用于轮体以带动晶圆转动。本申请利用旋转机构带动晶圆旋转，配合辊刷机构刷洗，清洁时的刷洗力度可以有效控制均匀，提高晶片表面的清洁度。

上一篇：从天上到地下！成都崇州科普月玩转“低空经济+卫星梦”

下一篇：原创 一颗被撞击的小行星，将成为测试中国深空技术成色的试金石

相关内容

热门资讯

原创 苹... 有不少朋友疑惑苹果iPhone 16 Pro和16 Pro Max有什么区别？该选择哪一款更好？各自...
2025年值得入手的2款智能手... 在科技飞速发展的今天，智能手表已成为我们生活中不可或缺的伙伴。无论是健康监测、信息提醒，还是时尚搭配...
第五轮学科评估对比：西安交大突... 在之前的文章中，我们已经提及西安交通大学第五轮学科评估的表现可圈可点，新晋的3个A+学科：机械工程、...
原创 2... 从去年华为用上了麒麟芯片开始，华为的市场份额就蹭蹭的往上涨，当时抢购的人特别多，一时间还买不到现货，...
vivo手机5g开关在哪里打开 vivo手机5G开关的打开方式可能因手机型号、系统版本及运营商网络支持情况的不同而有所差异。但总体来...
2024年OPPO手机全攻略：... 手机已不仅仅是通讯工具，它更是我们记录生活、享受娱乐、提升工作效率的重要伙伴。随着科技的飞速发展，O...
解决FaceTime无法使用的... FaceTime是苹果公司推出的一款视频通话应用，广泛应用于iPhone、iPad和Mac等设备上。...
steam官网无法访问？这个办... 对于广大游戏爱好者而言，Steam平台无疑是获取最新游戏资讯、购买游戏、与全球玩家互动的重要阵地。然...
原创 麒... 为了普及原生鸿蒙（鸿蒙5.0），抢占更多的中端手机市场份额，华为nova系列今年开始计划一年两更，n...
原创 最... 近日，有关华为nova 13系列手机的消息开始多了起来，之前透露的消息暴露，华为nova 13 Pr...