微导纳米取得半导体加工车间热管理系统专利，减少尾气热量的浪费_科技动态

微导纳米取得半导体加工车间热管理系统专利，减少尾气热量的浪费

创始人

2025-12-07 02:41:46

0次

国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“一种半导体加工车间的热管理系统”的专利，授权公告号CN223623455U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开一种半导体加工车间的热管理系统，包括尾气排放模块、第一换热模块和流体供应模块，所述尾气排放模块包括尾排管道，所述流体供应模块包括流体供应管道，所述流体供应管道至少用于和所述半导体加工车间中的反应器相连，所述尾排管道以及所述流体供应管道均和所述第一换热模块相连以通过所述第一换热模块进行换热；上述方案可以利用尾气热量来对反应器进行预热，能够减少尾气热量的浪费，并可以方便后续对于尾气的处理。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目50次，财产线索方面有商标信息89条，专利信息558条，此外企业还拥有行政许可69个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

上一篇：区域协同澎湃创新活力

下一篇：无锡制造的“大国重器”组团亮相海事展，硬核实力闪耀全球

微导纳米取得半导体加工车间热管理系统专利，减少尾气热量的浪费

相关内容

热门资讯