安普特取得齿形电极机构专利，蚀刻效率高_科技动态

安普特取得齿形电极机构专利，蚀刻效率高

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2025-12-08 03:40:58

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国家知识产权局信息显示，珠海安普特科技有限公司取得一项名为“齿形电极机构”的专利，授权公告号CN 223624925 U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种齿形电极机构，属于等离子设备电极技术领域，本齿形电极机构包括：电极板；多个镂空部，多个镂空部均呈长条矩形，多个镂空部沿左右方向均布在电极板上，镂空部内设置有隔断层，隔断层覆盖整个镂空部，隔断层将镂空部分割形成分别位于电极板两面的矩形槽，矩形槽与电极板表面交接处形成有直角边。本齿形电极机构使等离子被限制在两块电极之间所以每槽电极间的蚀刻速率比较稳定不受周边负载的影响。等离子处理后的产品表面也不会产生显著的色差；直角边增强电极的放电，蚀刻效率高。随着产品尺寸和负载的增加，电极板内刻蚀均匀性更好。

天眼查资料显示，珠海安普特科技有限公司，成立于2016年，位于珠海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本758万人民币。通过天眼查大数据分析，珠海安普特科技有限公司参与招投标项目6次，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可19个。

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来源：市场资讯

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