国家知识产权局信息显示，创微微电子（常州）有限公司取得一项名为“晶圆清洗设备”的专利，授权公告号CN223798643U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型属于半导体生产设备制造领域，具体涉及一种晶圆清洗设备。本晶圆清洗设备包括：机架，和设置在机架内的浸泡装置、若干清洗装置、移料装置；所述浸泡装置包括：浸泡槽，其内设置有翻转机构；所述翻转机构内设置有多格晶圆盒，以放置待清洗的晶圆，以使各晶圆间留有浸泡间隙；其中，待清洗的晶圆经浸泡槽浸泡后，所述翻转机构翻转使晶圆处于近似水平状态，所述移料装置夹取水平状态的晶圆分别运送至相应方位的清洗装置。本晶圆清洗设备在晶圆正式清洗前设置浸泡装置，对晶圆进行批量预清洗的同时使晶圆盒内的各晶圆始终保持湿润状态，正式清洗时无需再单片润湿晶圆，从而加快了正式清洗的效率。

天眼查资料显示，创微微电子（常州）有限公司，成立于2020年，位于常州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，创微微电子（常州）有限公司参与招投标项目24次，专利信息84条，此外企业还拥有行政许可7个。

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