元戎科技申请可调磁控溅射环装置专利,提升靶材资源的精准利用率
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2026-01-22 13:21:33
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国家知识产权局信息显示,长沙元戎科技有限责任公司申请一项名为“一种可调磁控溅射环装置”的专利,公开号CN121362953A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明涉及磁控溅射技术领域,具体地说,涉及一种可调磁控溅射环装置。其包括基座和基座顶部密封安装的密封罩,所述基座与密封罩内腔之间形成真空环境,其特征在于:所述基座顶部设置有磁体腔,所述磁体腔内部形成有中心磁区和延伸磁区。本发明通过液压推杆驱动外环靶材升降,与连接组件的分区固定,在仅使用中心靶材时,可将外环靶材移至中心区域磁场与电场范围外,从源头减少边缘效应引发的无效溅射,使中心、外环靶材可按需单独或协同工作,进一步降低非工作区域靶材的损耗,提升靶材资源的精准利用率,避免外环靶材的不必要消耗,延长靶材整体使用寿命。

天眼查资料显示,长沙元戎科技有限责任公司,成立于2020年,位于长沙市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本4000万人民币。通过天眼查大数据分析,长沙元戎科技有限责任公司参与招投标项目62次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息24条,此外企业还拥有行政许可1个。

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来源:市场资讯

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